晶盛机电获得实用新型专利授权：“载盘组件和晶圆载台”
本站消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“载盘组件和晶圆载台”，专利申请号为CN202421484542.6，授权日为2025年5月6日。
专利摘要：本发明涉及一种载盘组件和晶圆载台。载盘组件包括：测量载盘，测量载盘包括第一主体和第一容置部，第一容置部设置于第一主体中央，用于晶圆测量装置测量第一晶圆时容置第一晶圆；扩展部，扩展部包括至少一个扩展载盘，扩展载盘包括第二主体和第二容置部，扩展部用于晶圆测量装置测量第二晶圆时嵌置于第一容置部，第二容置部用于容置第二晶圆，第二晶圆尺寸小于第一晶圆。本申请的载盘组件，通过测量载盘的第一容置部，在大尺寸晶圆测量时容纳晶圆，在小尺寸晶圆测量时容纳扩展载盘。通过扩展载盘实现了对小尺寸晶圆的容置；提高了载盘组件对各种尺寸的晶圆的适用性。
今年以来晶盛机电新获得专利授权50个，较去年同期减少了19.35%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了11.19亿元，同比减2.29%。
数据来源：天眼查APP
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